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等离子体—阴极方法对从氧化物上产生高电荷态离子的影响

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来源
《等离子体应用技术快报》 |1996年第8期|17|共1页
作者
张正模;
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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类产生;
关键词
ECRIS; 离子源; 等离子体; 高电荷态;

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