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机译:基于流体模拟的大面积双频感应耦合等离子体中低频源对等离子体均匀性的调制
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机译:大面积双频双天线感应耦合等离子体源产生的放电的质谱研究
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机译:低频电感耦合等离子体的诊断和仿真
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:具有交叉内部振荡电流的低频感应耦合等离子体中的射频功率沉积的磁场和均匀性
机译:使用大面积电感耦合等离子体(ICp)源进行的实验和建模