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第一章引言
1.1低温等离子体的概述
1.2感应耦合等离子体源的研究与应用
1.2.1常规感应耦合等离子体源
1.2.2小型感应耦合等离子体源
1.3本文的研究内容
第二章自制小型感应耦合等离子体源及等离子体诊断方法
2.1自制小型感应耦合等离子体源
2.2等离子体诊断方法
2.2.1朗缪尔探针技术
2.2.2发射光谱技术
第三章不同激发频率下小型感应耦合等离子体参量的测量
3.1小型感应耦合等离子体源的放电特征
3.2小型感应耦合等离子体源的朗缪尔探针诊断
3.2.1利用Ⅰ-Ⅴ特征曲线计算等离子体参量
3.2.2射频输入功率对等离子体参量的影响
3.2.3放电气压对等离子体参量的影响
3.2.4感应耦合等离子体轴向参量的变化
3.2.5射频输入功率和放电气压对电子能量几率分布函数的影响
3.3小型感应耦合等离子体源的发射光谱诊断
3.3.1小型感应耦合等离子体的气体转动温度
3.3.2小型感应耦合等离子体的电子激发温度
第四章结论
参考文献
攻读学位期间公开发表的论文
致谢