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罗先文;
桂林理工大学 桂林 641006;
等离子体中和枪; 感应耦合等离子体; 电子引出特性;
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机译:具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备
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