具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源和具有该等离子体源的等离子体室

摘要

公开了具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源。该自适应耦合等离子体源包括：在反应室的中心区域设置于反应室上方的平板形衬套；多个上部线圈，从所述衬套伸出以被设置于该反应室的上方，以便螺旋状地围绕所述衬套；以及在所述反应室侧壁部分的周围设置以围绕该反应室的多个侧部线圈。