新型大面积圆筒状等离子体源制备金刚石膜

摘要

针对圆筒状基底材料的几何特征,设计了与之匹配的新型大面积圆筒状等离子体源.使用该等离子体源以乙醇蒸汽和氢气为气源在石英玻璃管外表面沉积金刚石膜.采用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石膜的质量;设计腐蚀实验检验了金刚石膜的抗腐蚀效果.结果表明:(1)在反应气压为5.5 kPa、V乙醇/V氩气=8%、石英玻璃管温度为500℃的条件下,得到的均匀致密的纳米金刚石膜能有效增强石英玻璃管的抗腐蚀性能;(2)针对基底的尺寸和外形特征设计与之匹配的等离子体源是均匀制备金刚石膜最可行的途径.