硅尖阵列二极管性能的研究

摘要

简述了真空微二极管的结构参数设计考虑、工作特点、工艺制备技术。给出了微二极管不同温度下的Ｆ－Ｎ曲线及湿法腐蚀制备硅尖的形貌。该微二极管转换电压为２伏左右，发射锥尖电流为５ｕＡ／锥尖。