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陈畅生; 熊传铭;
武汉大学;
硅; 氧; 热沉淀; 沉淀;
机译:快速热退火过程中氧沉淀物在掺锗的切克劳斯基硅中的溶解
机译:氮掺杂对快速热退火过程中切克劳斯基硅中氧沉淀溶解的影响
机译:0.7-0.9 eV范围内的光致发光发射来自硅中的氧沉淀,热供体和位错
机译:快速热退火对czochralski硅中热供体形成和氧沉淀的影响
机译:切克劳斯基硅中氧沉淀的模型。
机译:HCl浓度对苯氯硅烷水解缩合反应速率的影响及(四羟基)(四苯基)环四硅氧烷其所有几何异构体的合成在假性条件下它们的热自凝
机译:在各种变形条件下聚硅氧烷弹性体中原位沉淀二氧化硅的增强作用
机译:以预测单晶硅中产生的氧沉积行为的单晶硅中的氧沉淀行为预测方式,以单晶硅中的氧沉淀行为预测方式预测氧沉积行为
机译:用于测量单晶硅中的氧沉淀行为的P方法,用于制造硅单晶晶片的工艺确定方法以及具有用于测量单晶硅中的氧沉淀行为的程序的记录介质
机译:在用于制备氧沉淀物行为测量方法的单晶行为测量程序中记录用于确定硅氧如何沉淀的步骤以及硅单晶介质中的硅单晶片
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