法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-10
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/322 申请公布日:20100331 申请日:20080626
发明专利申请公布后的驳回
2010-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/322 申请日:20080626
实质审查的生效
2010-03-31
公开
公开
机译: 重掺杂单晶硅衬底中氧沉淀的抑制
机译: 重掺杂单晶硅基体中氧沉淀的抑制
机译: 重掺杂单晶硅基体中氧沉淀的抑制