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程诚; 方鹏; 朱晓东; 耿松; 詹如娟;
中国科学院基础等离子体物理重点实验室中国科学技术大学近代物理系;
大气压等离子体; 薄膜沉积;
机译:DCSBD中的室温等离子体氧化:一种在大气压下制备二氧化硅薄膜的新方法
机译:使用大气压等离子体在大气压下以极高速率制备的氢化非晶Si1-xCx薄膜的特性
机译:大气压等离子体辐照法制备Ti基微量薄膜制备的尝试
机译:大气压等离子体制备超硫酸二氧化硅薄膜
机译:低压和大气压等离子体聚合的类二氧化硅薄膜,用作铝的粘合底漆。
机译:新型大气压等离子体聚合技术制备的纳米纤维聚苯胺薄膜的合成与表征
机译:低温下类二氧化硅薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化低温下类石英薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化
机译:超高真空等离子体氧化制备超薄二氧化硅薄膜
机译:利用大气压氢气等离子体的薄膜制备方法,制备方法和装置
机译:用氢等离子体制备类金刚石薄膜的方法
机译:用于等离子体化学气相沉积的类金刚石碳薄膜场发射体的制备方法
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