大气压低温等离子体沉积制备高能量密度电容器薄膜方法

摘要

本发明公开了一种大气压低温等离子体沉积制备高能量密度电容器薄膜方法，通过大气压低温等离子沉积技术在聚合物电容器薄膜表面沉积具有高介电常数层，在金属电极和聚合物电容器薄膜之间引入高介电常数层，利用高介电常数层具有高介电常数的特点，以提高薄膜的等效介电常数，从而提高其能量密度，同时避免存在的材料成本昂贵、制备方法复杂、制造设备昂贵、工艺流程中存在环境污染、不利于大规模生产应用等问题。