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于威; 王建涛; 李云; 郭少刚; 朱海荣; 傅广生;
河北大学物理科学与技术学院;
纳米晶硅; 富硅氧化硅; 低温沉积; 微结构;
机译:非晶氢化碳化硅薄膜与碳化硅的低温直接键合工艺及机理
机译:低温晶圆键合中晶圆级键合强度均匀性的动态研究
机译:在低温(300℃)化学气相沉积工艺中采用氢等离子体和硅自由基的新型双注入系统沉积微晶/非晶硅薄膜
机译:低温应用Cat-CVD沉积在非晶碳化硅薄膜中的硅纳米晶体的特性
机译:十八烷基硅氧烷键合二氧化硅和多孔聚合物颗粒负载膜固相萃取装置的动力学和热力学特性
机译:碳化硅基体中硅纳米晶的快速热退火和结晶机理研究
机译:非晶氮化硅涂层在晶体硅上的键合特性的分子动力学研究
机译:二氧化硅薄膜的低温生长:椭圆光度法和红外光谱法研究化学键合
机译:通过使用这样制备的产物制备的方法,该方法是通过将每分子至少50个硅原子的硅键合的硅键合的氢和含脂肪族多键合基团的有机聚硅氧烷而形成的硅键合氢减慢速度而促进的。
机译:低压硼硅酸三乙酯化学气相沉积法制取氧化硼玻璃的低温硅晶圆间键合新工艺
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