一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析

摘要

一种基于微细电火花加工 (EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器 ,以电磁线圈驱动微反射镜 本文介绍该器件特性测试及动态响应分析 ,结果表明 ,驱动电压为 0～ 8V ,工作范围 0～35dB ,动态响应时间为 2ms ,插入损耗小于 0 .8dB ,回波损耗小于 - 5 0 .