MEMS电控可调光衰减器

摘要

本文介绍了电控可调MEMS光衰减器在光纤网络中的应用,并从结构、工作原理和加工方法等方面,介绍了F-P腔式MEMS电控可调光衰减器方案.测试结果表明,F-P腔式衰减器具有很好的实用性能.

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