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GaN基薄膜材料和器件的最新进展

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综述了ＧａＮ基薄膜材料研制与器件开发的新进展，着重阐明其技术突破与商品化应用前景。

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来源
《半导体技术》 |1998年第3期|2-5|共4页
作者
李玉增;
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作者单位

北京有色金属研究总院;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.23;TN304.055;
关键词
半导体薄膜; 薄膜材料; 氮化镓;

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