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韩雪; 夏慧; 王燕; 施昌勇;
北京有色金属研究总院;
磁光记录材料; 媒体; 溅射; 靶材; 磁控; 薄膜;
机译:磁控溅射Al2O3陶瓷靶材在不同的射频功率和氩压下通过磁控溅射沉积的Al2O3薄膜的主要性能及其对p型c-Si晶片的钝化作用
机译:两种阴极靶材在磁控溅射中的等离子体特性模拟
机译:通过磁控溅射由纯铝和铝硼靶材制造的薄膜的纳米力学性能
机译:开发旋转十字型高频磁控溅射系统以提高靶材利用率
机译:对用于穿孔测试的Ti / Al多层复合靶材的累积辊压粘合的研究。
机译:磁控溅射聚合物靶材:从薄膜到非均质金属/等离子聚合物纳米颗粒
机译:射频磁控溅射ZnS靶材生长ZnO1-xSx薄膜的带隙工程
机译:激光熔融靶材制造:聚乙烯涂层在聚乙烯物理气相沉积球杆靶设计中的应用
机译:用于通过磁控溅射沉积不同材料的合金,混合物或不同产物的反应层的涂覆装置具有由同心布置的局部靶材制成的靶材,每个靶材均由待沉积材料制成
机译:靶材供给装置,靶材纯化方法,靶材纯化程序,记录靶材纯化程序的记录介质以及靶材生成器
机译:靶材供给装置,靶材精制方法,记录有靶材精制程序的记录介质以及靶材生成器
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