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魏红振; 余金中; 刘忠立; 王启明;
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室;
光波导; 光电集成; 光开关; 硅基光波导;
机译:低功率,紧凑型2 / spl次/ 2热光硅对硅波导开关,具有快速响应
机译:隐式光掩模接触光刻和硅光子与等离子体耦合波导开关的制造
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机译:与硅隔离物局部氧化的互补金属氧化物半导体绝缘体上硅绝缘光肋波导。
机译:光聚合物介质中全息图的存储和自写波导的研究进展
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机译:非晶硅基薄膜光伏器件的研究:任务B,稳定高效大面积,非晶硅基子模块的研究。半年度分包合同报告,1989年3月16日至1989年11月30日。
机译:用于光子晶体结构中用于横向辐射光的硅基光发射器,在基板上提供二氧化硅层,发射器辐射出通过谐振器结构耦合到波导中的光
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