一种基于硅基光波导的三维光交叉器及其制备方法

摘要

一种基于硅基光波导的三维光交叉器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底、二氧化硅下包层、二氧化硅中间层、二氧化硅上包层和光波导芯层组成；光波导芯层由第一层硅波导和第二层硅波导组成，第一层硅波导制备在二氧化硅下包层之上、被包覆在二氧化硅中间层之中；第二层硅波导制备在二氧化硅中间层之上、被包覆在二氧化硅上包层之中；第一层硅波导和第二层硅波导结构尺寸完全相同，呈十字交叉设置。本发明使用的函数型波导结构尺寸小，制备方法与CMOS工艺兼容，利于集成。在1550nm波长下，传输效率为0.985，层间串扰为‑59.8dB。在保持低层间串扰特性的同时，可实现低损耗传输，具有广泛的应用前景。