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机译:隐式光掩模接触光刻和硅光子与等离子体耦合波导开关的制造
Univ Bourgogne, Lab Interdisciplinaire Carnot Bourgogne CNRS UMR, F-21000 Dijon, France;
Univ Bourgogne, Lab Interdisciplinaire Carnot Bourgogne CNRS UMR, F-21000 Dijon, France;
Univ Bourgogne, Lab Interdisciplinaire Carnot Bourgogne CNRS UMR, F-21000 Dijon, France;
AMO GmbH, D-52074 Aachen, Germany;
AMO GmbH, D-52074 Aachen, Germany;
Univ Bourgogne, Lab Interdisciplinaire Carnot Bourgogne CNRS UMR, F-21000 Dijon, France;
Fraunhofer Inst Reliabil & Microintegrat IZM, D-13355 Berlin, Germany;
Univ Bourgogne, Lab Interdisciplinaire Carnot Bourgogne CNRS UMR, F-21000 Dijon, France;
Contact printing; Photomask; Recess; Cavity; Plasmon; Waveguide;
机译:紧凑而高效的耦合器,可将负载介电的等离激元波导与硅光子平板波导相连接
机译:硅光子与金属绝缘体-硅金属等离子体激元波导之间的高效耦合器
机译:软UV-纳米压印光刻技术在硅波导技术中制造光子环谐振器。
机译:通过组合近场相移触点和干扰光刻来实现2D光子晶体板波导快速制造的可行性和研究
机译:基于波导横杆的高度可伸缩的硅光子开关,具有可移动波导耦合器
机译:硅光子晶体纳米胶质耦合波导用于纠错光学生物腐蚀
机译:硅光子与金属绝缘体-硅金属等离子体激元波导之间的高效耦合器