电子束诱导表面组份变化的俄歇分析

摘要

本工作主要研究了超高真空环境中(5×10^(-10)Torr)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV电子束轰击下,表面组份的变化。通过检测俄歇峰高随电子的轰击所发生的变化,对表面组份在电子轰击下所发生的变化进行了观察,并对这些变化的机理进行了探讨。