钛基合金离子注入表面的俄歇能谱分析

摘要

选用４种不同的Ｎ＋注入剂量，即３×１０１７、６×１０１７、９×１０１７和２×１０１８ｃｍ－２，对Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ合金进行离子注氮，使其表面形成一层改性层。通过俄歇电子能谱，分析了在钛基合金上注入不同剂量的氮离子后，其表面原子的分布情况。结果表明：最大浓度时的深度ＲＰ和最大相对浓度Ｃｍａｘ并不随注入剂量的增加而无限增大，注入剂量超过９×１０１７ｃｍ－２后，最大浓度时的深度ＲＰ将向试样表面移动；注入剂量超过６×１０１７ｃｍ－２后，最大相对浓度Ｃｍａｘ将保持平稳状态。