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杨德仁; 姚鸿年;
浙江大学半导体材料研究所;
硅表面; 氧化; 电子束诱导; TEM;
机译:硼注入硅的氧化形成的堆垛层错的电子束感应电流和TEM研究
机译:通过电子束光刻在氧化和还原环境中在氧化的硅和铝表面上制备的均匀银团簇的热稳定性
机译:通过化学KOH蚀刻对硅悬臂进行机械强化以及通过TEM和AFM进行的表面分析
机译:二氧化硅反应离子蚀刻硅基衬底诱导的表面损伤分析
机译:使用电离辐射诱导的氧化铟/氧化硅/二氧化硅/硅结构(辐射硬)中的表面倒置的层状太阳能电池。
机译:Cryo-EPDF:克服电子束损伤以研究局部原子结构TEM内的无定形ALD氧化铝薄膜
机译:快速热退火富硅氧化硅膜中形成的多层纳米结构的TEM分析
机译:TEm(透射电子显微镜)和EBIC(电子束感应电流)研究太阳能硅中的缺陷:最终报告
机译:刻蚀硅晶片表面氧化物膜的方法,用氧化物膜对硅晶片的金属污染分析方法以及用氧化物膜制造硅晶片的方法
机译:电子束诱导表面合金对镍基高温合金进行表面改性的方法以提高高温抗氧化性能
机译:氧化诱导型硅氧烷改性的乙烯基共聚物,使用其的一包式涂料和制备氧化诱导型硅氧烷改性的乙烯基共聚物的方法
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