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叶舟; 朱军;
上海交通大学机械与动力工程学院;
上海200240;
上海交通大学微纳科学技术研究院;
纳米压印; 抗粘性; 氟化自组装单分子层; 类金刚石碳膜;
机译:使用紫外线型辊子纳米压印光刻技术制造用于大面积构图的无粘性透明辊压印模
机译:使用纳米压印技术制造布线图案(2)使用Ni型在SU-8抗蚀剂上进行热和光压印结合
机译:通过热纳米压印光刻技术制备用于仿生抗反射的ZrO_2纳米图案
机译:通过抗抗抗抗抗抗耐抗体纳米压印金属的抗渗透等离子体纳米结构
机译:纳米压印光刻和发光器件应用的大面积纳米仪的研究进展
机译:在8英寸上制造的Si纳米锥阵列的Mie共振介导的抗反射作用。使用纳米压印技术的晶圆
机译:纳米级磁电子器件平行构图的纳米压印光刻技术
机译:纳米压印模具的制造方法,通过纳米压印技术形成树脂图案的方法以及纳米压印模具
机译:纳米压印抗蚀剂,纳米压印模具和纳米压印光刻
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