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王光伟; 张建民;
天津工程师范大学电子工程系;
金属诱导横向结晶; 电场增强横向诱导结晶; 扩散; 固相反应; 晶粒生长;
机译:Ni诱导的横向结晶过程中电场对掺杂非晶硅薄膜的影响
机译:Ni诱导的横向结晶过程中电场对非晶硅薄膜的影响
机译:电场辅助金属在SiO_2上诱导非晶硅锗的横向结晶
机译:电场对金属诱导非晶硅横向结晶的影响
机译:通过晶粒增强技术形成的多晶硅薄膜晶体管的建模:金属诱导的横向结晶。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:延伸热处理对Ni诱导非晶硅薄膜横向结晶的影响
机译:通过低温诱导的金属原子与离子注入的非晶硅反应形成薄的Ni硅化物。
机译:Ni厚度对Ni诱导的非晶硅横向结晶对多晶硅TFT截止态电流的影响
机译:利用硅化物诱导的横向结晶来结晶非晶硅薄膜的方法以及使用相同的方法来制造多晶硅薄膜晶体管的方法
机译:使用两种具有不同结晶速度的金属通过金属诱导的横向结晶来结晶非晶半导体薄膜的方法以及使用该方法制造薄膜晶体管的方法
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