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NTDFZ（H）－Si单晶中氢沉淀的消除及其在功率器件中的应用

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ＮＴＤＦＺ（Ｈ）－Ｓｉ单晶中氢沉淀的消除及其在功率器件中的应用陈燕生，刘桂荣，王培清（北京科技大学１０００８３）（清华大学电力电子厂）陈炳贤，张文成，郑慧秀，解俊东（中国科学院原子能研究院）（冶金部自动化研究院）关键词：区熔，硅单晶，热处理，微缺陷，...

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来源
《稀有金属》 |1995年第3期|231-234|共5页
作者
陈燕生; 刘桂荣; 王培清; 陈炳贤; 张文成; 郑慧秀; 解俊东;
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作者单位

北京科技大学;

清华大学电力电子厂;

中国科学院原子能研究院;

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正文语种 chi
中图分类硅Si;
关键词
硅; 单晶; 热处理; 微缺陷; 功率器件;

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