CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究

机译：CZ-Si单晶中的氧化物沉淀和氧化诱导的堆垛层错研究

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本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである

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作者
末岡浩治;
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作者单位

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年度 1997
总页数
原文格式 PDF
正文语种 jpn
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