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SiGe异质结微波功率晶体管

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本文述评了SiGe异质结微波功率晶体管的特性、结构、工艺及研究进展。

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来源
《微波学报》 |2002年第4期|84-89|共6页
作者
王哲; 亢宝位; 肖波; 吴郁; 程序;
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作者单位

北京工业大学电子与信息工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
SiGe; 异质结双极晶体管; 微波功率双极晶体管;

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