基于MEMS工艺的新型高线性压力传感器设计

摘要

基于 MEMS 工艺，提出了一种球冠形底部固定极板与复合膜可动上极板结合的电容式微机械压力传感器。改变了经典的上下电极接触过程，并增加了深刻蚀工艺附加深孔结构，使传感器几乎完全工作在线性区间。针对其量程，分析了复合膜厚度对极板接触状态及线性度的影响，并利用有限元分析法对结构进行了模拟与验证，最后给出了工艺流程说明。该方案可为工作于100~800 kPa 的汽车胎压监控（TPMS）提供一种新的传感器实现方式。