PZT压电薄膜微传感器的优化设计

摘要

通过经验设计出压电薄膜微传感器的基本结构,研究了压电薄膜微传感器的工作原理,选定了优化参数和优化目标;然后利用有限元软件ANSYS7.0进行优化设计,对压电薄膜微传感器的结构尺寸对其线性度和灵敏度的影响进行分析;结合微电子工艺的要求,选定了一个比较合理的结构尺寸,模拟了它的线性度和灵敏度。