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娄利飞; 杨银堂; 李跃进;
西安电子科技大学微电子学所宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室;
锆钛酸铅(PZT); 压电薄膜; 微传感器; 湿法化学刻蚀;
机译:<001>取向PZT薄膜的制备及其在微压电器件中的应用
机译:溶胶-凝胶衍生的PZT薄膜在不同热解温度下的压电超声微传感器的灵敏度
机译:压电PZT薄膜的微悬臂梁的制备与性能
机译:具有两个PZT薄膜元件的压电微膜,用于微传感器和微致动器
机译:自激,自感应PZT /二氧化硅压电微悬臂梁传感器的合成,制备和表征
机译:航天SHM中的PZT / PZT和PZT / BiT复合压电传感器应用:光化学金属有机+渗透沉积和表征
机译:用于去耦电容器应用的溶胶 - 凝胶法制备pZT薄膜的制备和性能
机译:用于形成锰掺杂的基于PZT的压电薄膜和锰掺杂的基于PZT的压电薄膜的组合物
机译:通过用薄膜型压电装置代替现有的大容量型压电装置来制造用于最小化硬盘的体积或重量的,用于硬盘的薄膜型PZT滑行头的制造方法
机译:用于表征两个PZT元件微致动器的压电(PZT)元件极性的方法,装置和系统
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