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PZT压电薄膜在微传感器中的应用

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锆钛酸铅压电材料(PZT)因具有优良的压电性能、热释电性能、铁电性能和介电性能而被广泛地应用在微电子机械系统(MEMS)中.基于微传感器,介绍了PZT薄膜,重点介绍了PZT薄膜在微传感器中的应用,并介绍了PZT薄膜微传感器的发展状况.

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来源
《传感器与微系统》 |2003年第12期|73-77|共5页
作者
杨冰; 杨银堂; 李跃进;
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作者单位

西安电子科技大学,微电子所,陕西,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子所,陕西,西安,710071;

西安电子科技大学,微电子所,陕西,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
锆钛酸铅 ; 压电薄膜 ; 微传感器 ;

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