用于微电容检测的C/V电路设计与研究

摘要

结合电荷放大原理,通过设计高性能的运算放大器,较好地完成了杂散电容的屏蔽,实现了高可靠性的微电容检测。采用CSMC0.5μmCMOS工艺,用Cadence Spectre对其进行仿真验证,能精确检测出aF量级的微电容。结合考虑不可避免的工艺误差,对差分标称电容的失配进行分析与校准。结果表明:失配仅带来固定的失调,不会对C/V电路的灵敏度造成显著的影响。