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基于平面微电容的PDMS微流控检测芯片及系统的关键技术研究

摘要

本文对基于平面微电容的PDMS微流控检测芯片及系统的制备工艺进行了研究,采用干膜刻蚀工艺在ITO导电玻璃上制备了微电极.并对由其构成的微电容检测系统进行了研究,研制了基于AD7746微电容检测芯片及开源硬件平台Arduino UNO的微电容检测系统.对该检测系统在T形流道的液滴生成系统中的应用进行了研究,该检测系统在不同采样频率下的性能,验证了利用其对液滴数目和尺寸进行实时检测的可行性.

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