常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究

摘要

由于氮化硼特别是立方氮化硼 (c BN)的独特性质和广泛的应用前景 ,一直受到材料研究工作者的广泛关注。本研究利用脉冲激光在室温下沉积出立方氮化硼薄膜 ,傅立叶变换红外光谱和X射线衍射分析表明在所制备的氮化硼薄膜中 ,立方相的含量很高 ;同时 ,该研究还观察到了氮化硼的另一种高压相—爆炸结构氮化硼 (Explosive BN ,E BN)。本研究同时还讨论了氮化硼薄膜生长的原理。