退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
杜惊雷; 石瑞英; 崔铮; 郭永康;
四川大学物理系;
中科院微电子中心;
RutherfordAppletonLaboratory Chilton,Didcot;
掩模制作; 邻近效应; 光学邻近效应; 掩模畸变; 光刻模拟; 光学邻近校正; 微光刻;
机译:完全基于模型的方法,可同时校正极端紫外线掩模的阴影和邻近效应
机译:勘误表:基于模型的方法同时校正极端紫外线掩模的阴影和邻近效应
机译:化学火炬长距离邻近邻近效应在光掩模制造中,具有化学放大抗蚀剂
机译:邻近效应隧道效应诱导正常金属中超导性的实验研究
机译:平面内和面内电阻率的各向异性霍尔效应在邻近的邻近的YBA
机译:掩模下的语义灌注效应和邻近Segrix的影响
机译:膦酸酯水解中的邻近基团效应,Ⅰ。对硝基苯基苯甲酰基甲基膦酸酯中的邻近羰基
机译:制作蚀刻邻近效应校正模型的方法,蚀刻邻近效应校正模型,校正掩模图案,光掩模的方法,制造半导体装置的方法以及半导体装置
机译:半导体制造过程中的光学邻近效应校正方法和掩模数据形成方法,即使在设计图案的尺寸和形状以及设计图案之间的空间宽度和位置关系的各种情况下,也可以充分地校正光学邻近效应。
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。