化学束外延及其在半导体材料与器件中的应用

摘要

本文介绍了薄膜晶体生长的最新技术——化学束外延(CBE)。通过与分子束外延(MBE)和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)技术的比较,说明了这一新技术的基本概念、生长动力学以及在半导体材料和激光器件方面的应用。