阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用

摘要

@@阴极荧光（Cathodoluminescence.CL，如图l示）和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜上的两个附件。由于目前场发射扫描电镜的电子束斑尺寸一般在1 ~2 nm，而CL和EBIC正是利用场发射电子枪发出的电子束作为激发源，其空间分辨率可达到纳米量级。