阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置及方法

摘要

本发明提供一种阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，包括测试台、探针、探针固定装置及物镜，测试台用于放置测试样品，探针固定在探针固定装置上，用于与测试样品的电极接触，进行电子束诱导感生电流信号的采集，物镜用于聚焦电子束，装置还包括阴极荧光探头，阴极荧光探头设置于探针与物镜之间，用于进行阴极荧光信号的采集，测试样品位于阴极荧光探头的焦点。本发明的优点在于阴极荧光探头位于探针与物镜之间，测试样品位于阴极荧光探头的焦点位置，使得探针的探针本体到测试样品的表面的垂直距离小于阴极荧光探头的焦点到所述阴极荧光探头的距离，实现在测试样品的同一微区阴极荧光信号与电子束诱导感生电流信号的同时采集。