退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
余山; 章定康; 黄敞;
航天工业总公司二院计算机应用和仿真技术研究所;
西安微电子技术研究所;
微电子技术; 光刻; 刻蚀; 工艺;
机译:纳米压印光刻和反应离子刻蚀对钛进行亚微米图案化
机译:全息光刻和反应离子刻蚀法制备纳米颗粒/聚合物复合材料中的亚微米结构
机译:通过反应离子刻蚀实现无光刻的高纵横比亚微米石英柱
机译:用于高形貌亚微米和纳米器件的硅干法刻蚀工艺
机译:研究非晶态三硫化二砷中的银光掺杂机理,以及碲化银-三硫化二砷体系作为无机光刻胶的亚微米光学和深紫外光刻技术的潜力
机译:通过单步金属辅助化学刻蚀工艺在光刻定义的区域上形成硅纳米线:形成动力学
机译:抗蚀技术与加工XII的进展。亚0.25微米光刻的193纳米硅烷化工艺的优化
机译:采用自对准光刻蚀刻和注入工艺的自对准LDMOS制造方法集成了深亚微米VLSI工艺
机译:采用自对准光刻刻蚀和注入工艺的自对准LDMOS制造方法集成了深亚微米VLSI工艺
机译:非光刻蚀刻掩模,用于亚微米级功能
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。