TOPCon电池的关键工艺及钝化技术浅析

摘要

TOPCon技术优势在于实现全背面钝化,有效减少了硅表面和体内的缺陷悬挂键,降低了缺陷态密度,显著降低了载流子复合的速率,提高了少数载流子的寿命。本文主要写了n型双面TOPCon硅太阳电池的生产工艺,并重点分析TOPCon工艺中LPCVD和ALD这两个工艺步骤。