微米/纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系·上海·200240;
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上海航天控制技术研究所 上海惯性工程技术研究中心·上海·201109;
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