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张桐; 邓江涛; 杨峰; 梅松; 肖凯; 林丙涛; 韩世川; 林翠平;
中国电子科技集团公司第二十六研究所;
重庆400060;
麦格磁电科技有限公司;
广东珠海519040;
分次吹制; 微半球陀螺; 硼硅酸玻璃;
机译:晶圆级玻璃吹制制作的三维球形壳谐振陀螺仪
机译:3D-HARPSS多晶硅微半球壳共振陀螺仪:设计,制作和表征
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