环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供了一种环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法，包括：一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个环形玻璃壳体、八个制作在环形玻璃上的金属电极，其中：八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央半球壳谐振子和外围的环形玻璃采用玻璃吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。