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侯佳坤; 王雨晨; 陈博; 凤瑞; 李崇;
中国海洋大学自动化与测控系 青岛266100;
华东光电集成器件研究所 苏州215163;
硅微半球; 球形电极; 自对准; 数字控制; 数字仪器; 微机电陀螺仪;
机译:提高高Q多晶硅微半球谐振陀螺仪的闭环稳定性
机译:3D-HARPSS多晶硅微半球壳共振陀螺仪:设计,制作和表征
机译:多晶硅微半球共振陀螺仪
机译:半球形多晶硅壳的微制造驻扎在半球形腔
机译:硅微制造设备,用于基于非鞘流式细胞仪的化学分析和微通道流量感测。
机译:陀螺仪应用玻璃硅MEMS制造技术的关键工艺
机译:差分电容微机械陀螺的制作及接口电路设计
机译:用于第三代陀螺仪的半球形相对自动气体轴承的制造
机译:微半球谐振器陀螺仪结构,装配方法和晶圆夹具
机译:设计电路系统,扩展现有方法以评估电路设计的可行性,执行电路设计的可行性评估,完善电路设计的第一决策规则,形成电路设计的第二决策规则的方法电路设计,用于为多个预先设计的电路块组织设计者的经验数据,提高胶粘逻辑分配效率,并在设计块之间分配胶粘的多个逻辑元素,并分配胶粘逻辑以在集成电路设备设计中执行方案,转换特定于电路块的接口,选择电路收集器,设计一种包含使能设备测试以验证a正确操作的设备,并开发行为测试台,项圈接口和接口系统
机译:制造微半球阵列板的方法,包含微半球阵列板的微流体装置以及使用相同的培养细胞聚集体的方法
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