微半球谐振陀螺结构装配夹具、装配系统及装配方法

摘要

本发明涉及微机电系统制造技术领域，特别是涉及一种微半球谐振陀螺结构装配夹具、装配系统及装配方法,将电极基板放置并固定在装配槽内，吸盘金具吸附微半球谐振结构的锚点位置，操作位移平台、调节支架以及微调夹取机构压紧微半球谐振结构与电极基板，调节调焦支架选择合适的焦距，调节显微物镜选择合适的放大倍率，以使得在视频显示器中能清晰看到电极间隙；根据视频显示器中所看到的电极间隙，通过调节多自由度压电平台使微半球谐振结构与电极基板之间的电极间隙均匀；将加热片通电，通过导电胶将微半球谐振结构与电极基板固定连接。多个功能系统搭配合作可显著减小微半球谐振陀螺结构装配误差，提升工艺的稳定性、一致性以及精密性。