一种微半球谐振陀螺结构、装配方法及圆片夹具

摘要

一种微半球谐振陀螺结构、装配方法及圆片夹具。本发明公开一种微半球谐振陀螺结构圆片级装配方法，独立制造的玻璃片经高温软化变形加工成型后，在玻璃片中间形成微半球谐振结构，采用激光切割在玻璃片的两端切割出玻璃片定位孔，并以此定位孔为基准，将多个同样的微半球谐振结构对准并固定在圆片夹具上，然后以圆片夹具为单位进行操作，完成后续的微半球谐振结构释放、表面金属化、与平面电极固定、圆片夹具分离以及清洗工艺，得到了底部平面电极驱动的微半球谐振陀螺结构。本发明所述的微半球谐振陀螺结构圆片级装配方法，将多个独立制造的微半球谐振结构固定安装在同一圆片夹具上，实现圆片级的安装操作，可显著减小微半球谐振陀螺结构装配误差，提升工艺的稳定性、一致性以及装配效率。