(100)取向的硅材料在双极器件中的应用

摘要

(100)取向的材料,由于其界面态密度小的固有特性,长期以来大量用于MOS等表面器件,这已被人们所熟知。而将（100）取向的材料应用于双极器件的生产,目前已被人们重视,特别对线性器件中的一些小电流元件的作用,（100）取向的材料将可能更为有效。本文介绍了一种高增益运算放大器中应用（100）取向的材料后,使各个主要参数指标有了明显的提高,并且产品的优品率从原来的20％提高到了40％左右,成品率也从原来的6％提高到了10％左右的真实数据,同时本文还就（100）取向材料的工艺特点及其原理作了简单的介绍。