用激光干涉法对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控

摘要

本文介绍了激光干涉法监控薄膜厚度的原理与装置.本方法具有简单、方便、稳定可靠、图形直观等优点.对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控,当厚度为4微米时,精度可达2%.监控厚度可达几十微米.本方法另一个突出的优点是可在不启开钟罩的条件下.方便地研究溅射成膜的各种工艺参数与膜的沉积速率的关系.