基于双波长激光干涉薄膜厚度的全场测试研究

摘要

薄膜厚度的全场测试是薄膜制备工艺技术的重要基础，利用双波长激光干涉法可实现薄膜全场厚度的精确测试。介绍了一种双波长激光干涉法全场测试薄膜厚度的系统，建立了膜厚测量的数学模型，提出了小波变换算法进行图像预处理和四步移相等算法，编写了膜厚测试算法软件。实验中对K9玻璃基底的si02薄膜进行测试。结果表明，该方法具有非接触、高精度、全场测试等优点，所测薄膜厚度的峰谷值为123 nm，均方根为42 mn，测试结果可靠。