采用微处理机的高精度磁悬浮真空计

摘要

磁悬浮转子真空计是一种先进的高精度真空规。我们研制的这种仪器技术指标可达到: 1.压强测量范围:1×10-4～1.3Pa 2.压强测量的不确定性:±1×10-5Pa 3.σ稳定性:优于1% 这样高的精度是与正确的设计思想、先进的结构以及高精度的测试电路分不开的。另一个重要的方面是数据处理技术,特别是在线的适时处理。本仪器由于采用了经过改进的微处理机作为实时数据处理器,具有测量精度高,处理时间短,测试结果能连续自动打印,仪器成本低等优点。由于软件编程的灵活性,根据使用需要还可以扩展测试处理功能,为进一步实现自动化测试打下基础。